在整個(gè)大規(guī)模集成電路制造過程中,近三分之一的工序是借助于等離子體技術(shù)來完成,在大規(guī)模集成電路制造的主要流程中,薄膜沉積、刻蝕、離子注入與清洗等過程都需要等離子體技術(shù)來輔助完成。...
2024-02-23綜述了近年來研究者對(duì)材料表面常用的處理方法,主要包括物理法、機(jī)械法以及化學(xué)法的研究進(jìn)展,介紹了表征材料表面結(jié)構(gòu),化學(xué)組成以及表面形貌常用的分析方法。通過對(duì)材料表面進(jìn)行處理從而達(dá)到提高粘接性能的目的。...
2024-02-21有研究報(bào)道,通過氧等離子體處理可以獲得溶液法制備的高質(zhì)量的SnO2薄膜。表明具有高能離子態(tài)的氧自由基團(tuán)能夠?qū)Ρ∧ぶ械难跞毕輵B(tài)起到一定填充作用。將這一工藝用于制備ZrO2介電層,可以在對(duì)介電薄膜有最小損傷的同時(shí)提高基于ZrO2的TFT的電學(xué)性能。另外,ZrO2具有較高的與氧結(jié)合能,也有利于氧相關(guān)表面缺陷的鈍化。...
2024-02-01在封裝工藝過程中,引線框架容易被氧化,在表面形成包含氧化銅和氧化亞銅的氧化層,其結(jié)構(gòu)較為疏松,這將不利于引線框架與塑封體的結(jié)合,在行業(yè)內(nèi)通常采用等離子清洗的方式去除引線框架表面的氧化層。...
2024-01-22隨著等離子清洗技術(shù)的不斷進(jìn)步與廣泛應(yīng)用,其等離子體產(chǎn)生方式也從直流輝光放電產(chǎn)生等離了體發(fā)展到射頻激發(fā)等離子體,微波等離子體,脈沖等離子體清洗等。...
2024-01-18微波等離子是由工作頻率為2.45GHz的微波激發(fā)工藝氣體放電,在正負(fù)極磁場(chǎng)作用下的諧振腔體內(nèi)產(chǎn)生等離子體,該諧振腔體位于反應(yīng)倉體旁邊,磁控管連接微波發(fā)生器,因?yàn)檎麄€(gè)放電過程不需要正負(fù)電極,所以產(chǎn)生自偏壓極小,從根本上避免了靜電放電損傷。...
2024-01-10等離子清洗的效果會(huì)優(yōu)于電暈的效果,處理均勻性方面等離子清洗也優(yōu)于電暈處理,從產(chǎn)品形狀方面考慮,等離子清洗對(duì)產(chǎn)品形狀沒有限制,電暈處理適合薄膜卷料產(chǎn)品。...
2023-12-29等離子體清洗機(jī)主要具有以下四大作用;1、表面清洗作用2、表面刻蝕作用3、表面活化作用4、表面接枝聚合作用。等離子在進(jìn)行清洗去污的同時(shí),還能改變材料本身的表面性能,如潤(rùn)濕性,粘附性等。...
2023-12-27噴射型等離子清洗機(jī)是一款高性價(jià)比、安裝簡(jiǎn)便、可配合流水線和自動(dòng)化設(shè)備使用表面清洗設(shè)備??偟膩碚f,噴射型等離子清洗機(jī)適合應(yīng)用在材料處理難度較低,需要在線應(yīng)用的場(chǎng)景。...
2023-12-21產(chǎn)品進(jìn)行完等離子清洗可以改善表面張力,提高表面浸潤(rùn)性,達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果,可以提高后續(xù)粘接,印刷,鍍膜等工藝的表面附著力,該方法與其它清洗方式相比占有明顯優(yōu)勢(shì)。...
2023-12-19提高塑料表面粘接附著力的的表面處理方法有化學(xué)處理法、火焰處理法、氣體熱氧化法輻射接枝法、及低溫等離子體處理法、噴砂法等,其中低溫等離子體處理法是近年來發(fā)展較快的材料表面處理方法。 ...
2023-12-18根據(jù)等離子體產(chǎn)生的真空度,可以分為大氣壓等離子體和低氣壓等離子體,所以plasma等離子清洗機(jī)常見的又分為兩類,大氣plasma等離子清洗機(jī),低氣壓plasma等離子清洗機(jī)。...
2023-12-14