等離子清洗機(jī)常用惰性氣體作為保護(hù)氣體,常用的保護(hù)氣種類包括氬氣、氮?dú)夂蜌錃?。其中,氬氣是常用的保護(hù)氣,因?yàn)樗鼘Υ蠖鄶?shù)材料都具有良好的惰性,不會和大多數(shù)材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng),同時氬氣價格相對較低。...
2023-09-12答:等離子清洗是否會產(chǎn)生臭氧跟通入的氣體有關(guān),只有當(dāng)氧氣存在的情況下才會產(chǎn)生臭氧,這就分為兩種情況,當(dāng)使用氧氣作為工藝氣體時會產(chǎn)生臭氧,當(dāng)使用空氣作為工藝氣體時也會產(chǎn)生臭氧。...
2023-09-12干法刻蝕技術(shù)是利用等離子體刻蝕薄膜,主要通過物理和化學(xué)蝕刻達(dá)到刻蝕目的。目前,干法蝕刻技術(shù)有:反應(yīng)離子刻蝕(RIE)、電子回旋共振等離子體刻蝕(ECR)和感應(yīng)耦合等離子體(ICP)刻蝕。...
2023-09-12在對有機(jī)材料的表面改性工藝中,低溫等離子體在不改變材料基底特性的前提下,通過改變材料的表面層微結(jié)構(gòu)、表面層物理性質(zhì)以及表面層化學(xué)特性,在高性能材料、復(fù)合材料和醫(yī)用材料等研究領(lǐng)域提供了新的解決方一案。...
2023-09-11氣體放電產(chǎn)生的低溫等離子體中除了擁有大量的正負(fù)粒子之外,還有受激發(fā)的原子等高能粒子,這些高能粒子可以促使物質(zhì)發(fā)生變化,進(jìn)行化學(xué)反應(yīng),改變物質(zhì)屬性,以下分別講述了等離子體在當(dāng)前工程應(yīng)用中的三大主流技術(shù):等離子刻蝕技術(shù)、等離子清洗技術(shù)以及等離子表面改性技術(shù)。...
2023-09-07等離子清洗是在微觀分子、原子和離子層的反應(yīng),清洗后的效果好壞很難通過肉眼來判別,因此清洗效果的判斷一般是通過貼片后鍵合強(qiáng)度的提高或者是使用專用的測試設(shè)備對清洗效果檢查的。...
2023-09-06氧等離子清洗機(jī)和等離子清洗機(jī)其實(shí)并沒有太大的區(qū)別,氧等離子清洗機(jī)可以理解為通入氧氣作為工藝氣體的等離子清洗機(jī),一般的氧等離子清洗機(jī),只有一路工藝氣體通道(國外的設(shè)備比較常見),一路氣體通道一般為氧氣,所以就被叫做氧等離子清洗機(jī)。...
2023-09-05工業(yè)生產(chǎn)中常用的等離子體主要由氣體放電產(chǎn)生,其中應(yīng)用較為廣泛的等離子體源有:單頻/雙頻容性耦合等離子體源、感性耦合等離子體源等。...
2023-09-04石英玻璃反應(yīng)倉的選擇,取決于等離子清洗的應(yīng)用及樣品材質(zhì),很多客戶采用的是不銹鋼反應(yīng)腔體來處理材料,他們對于清洗樣品表面沒有任何問題,如果客戶在等離子體處理時,需要潔凈的環(huán)境,或者清洗光學(xué)元件的時候,建議采用石英玻璃反應(yīng)腔體...
2023-08-31在使用等離子清洗機(jī)的過程中,腔體的潔度也會影響等離子清洗的效果造成影響,所以及時對玻璃腔體進(jìn)行清潔,可以有效提高等離子清洗的效果。...
2023-08-31射頻放電等離子體一般有兩種不同的激發(fā)方式,分別為電感耦合和電容耦合,其可在低氣壓下產(chǎn)生高密度的等離子體。射頻等離子體中的電子能量通常可達(dá)幾個eV甚至更高,可以借助電子的高活性促進(jìn)反應(yīng)的進(jìn)行,且不會對材料本底造成破壞,因此被廣泛應(yīng)用于材料表面改性等領(lǐng)域。...
2023-08-30目前,在電催化材料的表面改性方面低溫等離子體技術(shù)扮演著很重要的角色,例如,低溫等離子體作用到催化材料表面后,可以增強(qiáng)電子在金屬與半導(dǎo)體之間的傳遞效率。...
2023-08-28