等離子清洗機不銹鋼腔體和石英腔體的區(qū)別及優(yōu)缺點介紹

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2023-08-31

本文主要是關(guān)于等離子清洗機不銹鋼腔體和石英腔體的優(yōu)缺點的介紹，首先給大家講解一下石英玻璃腔體等離子清洗機和不銹鋼腔體等離子清洗機的區(qū)別

從等離子發(fā)生原理上來了解不銹鋼腔體等離子清洗機和石英腔體等離子清洗機的區(qū)別和優(yōu)勢對比

市面上的不銹鋼腔體等離子清洗機，大都采用電容耦合等離子體產(chǎn)生方式也就是平行平板式（CCP），這種設(shè)備的特點是，腔體內(nèi)部有一塊金屬電極板用來放電產(chǎn)生等離子體。接入電源后，在射頻場的作用下，氣體中游離的電子會得到加速，與其他氣體分子發(fā)生碰撞，電離出新的電子，當施加的電場足夠強時，極板間的氣體被擊穿，進而形成穩(wěn)定的放電，即產(chǎn)生等離子體。
優(yōu)勢：利用容性耦合放電的可以產(chǎn)生較大面積均勻的等離子體，且均勻性較為穩(wěn)定

而石英玻璃腔體等離子清洗機是采用電感耦合等離子體產(chǎn)生方式（ICP），這種設(shè)備的特點是腔體內(nèi)部無電極，靠給腔體外的線圈施加射頻功率，空間中就會感應(yīng)出軸向的時變磁場，磁場的變化又會進一步感應(yīng)出環(huán)向的電流，電子在電場作用下形成射頻電流，從而維持等離子體放電。
優(yōu)勢：ICP的主要優(yōu)點為等離子體密度高、解離率高,能夠在相當大的壓力范圍上保持高密度等離子體。

從材質(zhì)上來比較不銹鋼腔體和石英腔體的優(yōu)缺點

對于石英玻璃腔體而言，是比較適用于高?？蒲械男⌒颓惑w實驗，這種材質(zhì)的腔體優(yōu)點在于石英玻璃腔體相較于別的金屬材質(zhì)的腔體潔凈度更好，也方便清潔。

石英材質(zhì)是非常潔凈的一種腔體，因為是純的單晶體，該類型的腔體幾乎不會產(chǎn)生任何雜質(zhì)，非常適用于晶圓等潔凈要求度高的樣品。但是因為石英腔體是比較脆的，想做成大腔體是不太好實現(xiàn)的。

不銹鋼腔體它具有優(yōu)異的抗熱裂性能，又具有很強的抗腐蝕性能，在高溫腐蝕環(huán)境中不產(chǎn)生污染物，又有良好的可焊性，是制造等離子處理設(shè)備真空室的良好材料。因為是金屬材質(zhì)，更適合大的樣品做處理，大型的生產(chǎn)型工藝基本都是選擇不銹鋼腔體或者鋁腔體。鋁制腔體相對來說更受歡迎，不僅因為其成本略低，而且可以根據(jù)用戶的產(chǎn)量定制較為大型的容量腔體。

該如何選擇不銹鋼腔體和石英玻璃腔體等離子清洗機

石英玻璃反應(yīng)倉的選擇，取決于等離子清洗的應(yīng)用及樣品材質(zhì)，很多客戶采用的是不銹鋼反應(yīng)腔體來處理材料，他們對于清洗樣品表面沒有任何問題，如果客戶在等離子體處理時，需要潔凈的環(huán)境，或者清洗光學元件的時候，建議采用石英玻璃反應(yīng)腔體，主要擔心的是不銹鋼腔體中的微量元素，可能會成為在等離子處理時，樣品表面的污染源，特別是光學表面，這些污染物極大的改變了，樣品的光學性質(zhì)，同理我們推薦使用石英玻璃反應(yīng)倉，如果使用氟化氣體如四氟化碳（CF4），該處理氣體會與二氧化硅發(fā)生刻蝕反應(yīng)，石英玻璃腔體可能會被更快刻蝕掉。因此如果使用腐蝕性氣體的話推薦使用不銹鋼腔體。