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什么是等離子清洗機(jī)?清洗原理是什么?

文章出處:等離子清洗機(jī)廠(chǎng)家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間:2023-08-12
什么是等離子清洗機(jī)?等離子清洗機(jī)是一種高效、環(huán)保的清洗設(shè)備。簡(jiǎn)單點(diǎn)來(lái)說(shuō),等離子清洗機(jī),是產(chǎn)生等離子體的發(fā)生裝置,通過(guò)等離子清洗機(jī)產(chǎn)生的高能等離子體,可以用來(lái)對(duì)材料表面進(jìn)行清潔,活化改性,刻蝕等作用,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面的清洗,或者提高表面的浸潤(rùn)性能等。

等離子清洗機(jī)中的等離子體是如何產(chǎn)生的

等離子清洗機(jī)大都通過(guò)氣體放電產(chǎn)生等離子體,氣體放電是指施加外電場(chǎng)使電子運(yùn)動(dòng)碰撞氣體原子或分子,引起氣體分子、原子電離,產(chǎn)生新的電子和激發(fā)態(tài)活性粒子的現(xiàn)象。

拿常見(jiàn)的真空等離子清洗機(jī)舉例:
真空等離子清洗機(jī)
真空等離子清洗機(jī)

 
真空等離子清洗機(jī),大都采用射頻容性耦合等離子體發(fā)生方式:即為兩極板間充入工作氣體時(shí),外施射頻激勵(lì),放電電路接入特定的匹配網(wǎng)絡(luò)后,對(duì)一組電極施加射頻電壓,從而產(chǎn)生交變電場(chǎng),電極間的氣體受到交變電場(chǎng)的作用,起輝后產(chǎn)生無(wú)序的高能量的等離子體。
等離子清洗機(jī)工作原理圖
真空等離子清洗機(jī)工作原理圖

等離子清洗機(jī)的清洗原理

a) 反應(yīng)性氣體等離子清洗
在真空狀態(tài)下,高頻電源的高壓交變電場(chǎng)將氧氣、氫氣等反應(yīng)性氣體電離成高能量和高反應(yīng)性的等離子氣體。這些高活性基團(tuán)被吸附在工件表面,與表面污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生產(chǎn)其他氣體并脫離工件表面,隨排氣系統(tǒng)排出。O2適合對(duì)助焊劑等有機(jī)類(lèi)污染物進(jìn)行處理,H2適合處理金屬氧化物。
O2→2O*+2e
3nO*+{CH2}n→nCO2+nH2O

b) 物理性氣體等離子清洗
在真空狀態(tài)下,高頻電源的高壓交變電場(chǎng)將氬氣等惰性氣體電離成高能量的等離子氣體?;钚粤W釉谄珘鹤饔孟卤患铀佼a(chǎn)生動(dòng)能,設(shè)備射頻系統(tǒng)的下電極接地,確保所有的高能電子不能穿越電極接觸到工件表面,避免對(duì)敏感器件造成電子損傷。只有中性原子團(tuán)下電極高速轟擊工件表面,使污染物汽化,與工件剝離,隨排氣系統(tǒng)排出腔體外,產(chǎn)生清洗效果。由于是靠純物理撞擊方式剝離污染物,此方法適合對(duì)各類(lèi)污染物進(jìn)行去除。

以上就是國(guó)產(chǎn)等離子清洗機(jī)廠(chǎng)家納恩科技關(guān)于什么是等離子清洗機(jī)的簡(jiǎn)單介紹,等離子清洗機(jī)是使用電能催化氣體進(jìn)行物理化學(xué)反應(yīng)的設(shè)備,是一種干法清洗設(shè)備,它排除了所有濕法清洗帶來(lái)的危險(xiǎn),且無(wú)廢液產(chǎn)生。等離子高能離子的方向性不強(qiáng),可以深入到物體微小孔和不規(guī)則圖形結(jié)構(gòu)內(nèi)部進(jìn)行清洗,受工件形狀的影響較小。

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