真空等離子清洗機RF故障等常見故障分析及其解決辦法

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2022-06-13

設(shè)備故障是指設(shè)備失去或降低其規(guī)定功能的事件或現(xiàn)象。表現(xiàn)為設(shè)備的某些零件失去原有的精度或性能，使設(shè)備不能正常運行、技術(shù)性能降低，致使設(shè)備中斷生產(chǎn)或效率降低而影響生產(chǎn)。真空等離子清洗機的故障可以分為：等離子體相關(guān)故障、RF射頻故障、真空問題等故障。

等離子體相關(guān)故障

等離子體相關(guān)的故障可以分為不產(chǎn)生等離子體和等離子體密度低。

1.不產(chǎn)生等離子體

不產(chǎn)生等離子體的主要問題有以下幾種情況：
（1）射頻電源損壞。措施：檢查射頻源輸出信號、射頻電纜、匹配網(wǎng)絡(luò)，對故障點進(jìn)行維修。
（2）真空問題。措施：檢查各連接處的漏率，對漏率比較大的密封圈進(jìn)行更換；檢查真空泵組。
（3）壓力過大或過低。措施：檢查氣源壓力；檢查壓力閥；檢查真空閥。

2.等離子體密度低

等離子體密度低可從射頻功率源、氣源充足性、質(zhì)量流量控制器、腔壁是否污染等方面檢查。

RF射頻故障

RF射頻故障是真空等離子清洗機最常見的故障之一。其表現(xiàn)現(xiàn)象一般分為：反射功率大、無輸出功率。

反射功率大

反射功率大一般屬于匹配問題，一般情況下，若飄移不大，可通過設(shè)備的調(diào)節(jié)開關(guān)調(diào)整到允許范圍內(nèi)。但下列現(xiàn)象沒有辦法通過調(diào)節(jié)開關(guān)調(diào)到允許范圍之內(nèi)：匹配命令發(fā)出之后調(diào)整電機不轉(zhuǎn)、電容葉片變形卡住、位置電位器壞、位置電位器軸向緊固螺釘松動、齒輪磨損等情況只能打開匹配箱進(jìn)行相應(yīng)位置的調(diào)整及維修。

無輸出功率

首先在射頻源的輸出接上50Ω的假負(fù)載，以此判斷是射頻源問題還是射頻源之后的故障。若是接上假負(fù)載以后功率指示為零，說明射頻源有問題，維修射頻源。若接上假負(fù)載后功率指示不為零，說明射頻源完好，可檢查射頻線纜是否短路、腔體是否污染等。

真空問題

等離子清洗機真空系統(tǒng)的好壞，是影響清洗質(zhì)量的重要因素之一，對真空系統(tǒng)的保養(yǎng)維護主要從以下幾個方面入手：

（1）定時檢查真空度，及時更換各個連接處的密封圈。例如刻蝕腔體和預(yù)真空室隔離門，由于經(jīng)常開合，很容易導(dǎo)致密封圈磨損而漏氣，應(yīng)及時更換。

（2）定期保養(yǎng)真空泵組。真空泵組由機械泵和分子泵組成。應(yīng)經(jīng)常檢查機械泵和分子泵的油面是否在廠家標(biāo)定的最高允許液面和最低允許液面之間。平時多留意機械泵的抽速，一旦機械泵抽速變慢，要及時檢查機械泵，否則很容易引起分子泵故障。

熟練掌握真空等離子清洗機的原理與組成構(gòu)造，掌握影響等離子清洗工藝的各方面因素，可以極大的縮短設(shè)備故障后的修復(fù)時間。另外，定期對等離子清洗設(shè)備進(jìn)行保養(yǎng)也是保證設(shè)備穩(wěn)定的一個重要手段。