氧等離子清洗機不能輝（發(fā)）光產(chǎn)生等離子體的原因及解決辦法

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2023-02-17

氧等離子體清洗機的應(yīng)用主要包括清洗、引線鍵合的改進，除渣，腫塊粘連，剝離和蝕刻，在半導(dǎo)體工業(yè)和醫(yī)用材料等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。如圖1.1所示，氧等離子體清洗機主要由真空泵、匹配器、放電腔體、電子操控平板四個部位構(gòu)成。設(shè)備的氣流有2個進氣口，可以同時輸入2種放電氣體。

氧等離子清洗機

氧等離子體清洗機的基本結(jié)構(gòu)及其工作原理

實驗室產(chǎn)生等離子體的方式有很多種，從等離子體的性質(zhì)來講，產(chǎn)生等離子體的本質(zhì)就是氣體分子的電離。氧等離子體清洗機一般采用平行平板式電極結(jié)構(gòu)也就是容性耦合等離子體放電產(chǎn)生等離子體（如圖1.2所示）。

圖1.2 CCP等離子體放電原理示意圖

容性射頻放電等離子體（CCP）

電容耦合射頻放電是指放電的射頻電源通過電容耦合的方式施加在極板兩側(cè)，使極板中間的氣體電離產(chǎn)生等離子的放電方式。射頻電源的工作頻率在MHz量級，工業(yè)中一般用的射頻電源的放電頻率為13.56MHz。實驗室一般用這種等離子體的產(chǎn)生方式來獲得大面積均勻的等離子體，此類的設(shè)備的放電設(shè)置的基本結(jié)構(gòu)主要由一組平行板電極組成，放電功率以電容耦合的方式加到其中的一個電極上或兩個電極上，從而產(chǎn)生等離子體。

通過介紹氧等離子體清洗機的基本原理及其設(shè)備的基本結(jié)構(gòu)。根據(jù)多年維修經(jīng)驗，分析總結(jié)了以下幾點氧等離子體清洗機不能產(chǎn)生輝光的現(xiàn)象并給出了相應(yīng)的解決方法。

氧等離子體清洗機不發(fā)光不產(chǎn)生等離子體的主要問題有以下幾種情況：
（1）射頻電源損壞。措施：檢查射頻電源輸出信號、射頻電纜、匹配網(wǎng)絡(luò)，對故障點進行維修。
（2）真空問題。措施：檢查各連接處的漏率，對漏率比較大的密封圈進行更換；檢查真空泵組。
（3）壓力過大或過低。措施：檢查氣源壓力；檢查壓力閥；檢查真空閥。

以上就是國產(chǎn)等離子清洗機廠家納恩科技總結(jié)的關(guān)于氧等離子清洗機不能產(chǎn)生輝光原因及其對應(yīng)解決辦法的一些簡單介紹，如果你也有碰到設(shè)備不產(chǎn)生輝光的現(xiàn)象，可以寄回來返廠維修，我們也可以提供上門維修服務(wù)。