等離子表面活化工藝不會對晶圓(wafer)表面造成任何損傷,也不會使清洗表面出現(xiàn)再次污染,更不會有反應(yīng)產(chǎn)物污染環(huán)境,并且高精度的時(shí)間控制使活化效果更顯著。...
2022-11-21等離子表面活化是現(xiàn)在比較常用的一種干法活化方法,能對物體表面實(shí)現(xiàn)超潔凈清洗,去除表面的有機(jī)物污染和氧化物,在圓片表面引入所需基團(tuán),增強(qiáng)其鍵合能力。...
2022-11-18等離子體可以處理各種形狀的材料,其處理時(shí)間短、效率高。利用等離子處理材料表面,可以提升表面的粗糙度和親水性,間接對提高涂層與基材的附著力有很大幫助。 ...
2022-11-17等離子體改性主要是在玻璃纖維表面引入極性官能團(tuán),提高了玻璃纖維與樹脂基體之間的浸潤程度;同時(shí)在纖維表面發(fā)生刻蝕作用,增大比表面積,增強(qiáng)二者界面間的粘結(jié)力。...
2022-11-16蒸餾水通過等離子體放電區(qū)域后產(chǎn)生等離子活化水,其中含有各種帶電粒子,自由基,活性氧等活性成分,能破壞微生物的脂質(zhì)、蛋白質(zhì)、DNA等,從而具有殺菌效果。利用這一特性,低溫等離子體技術(shù)被逐漸運(yùn)用到食品保鮮領(lǐng)域,取得了良好的防腐保鮮效果,成為有潛力的綠色環(huán)保保鮮技術(shù)。 ...
2022-11-16氧等離子體去膠工藝,即是利用氧等離子體中的高反應(yīng)活性的單原子氧極易與光刻膠中的碳?xì)溲醺叻肿踊衔锇l(fā)生聚合物反應(yīng),從而生成易揮發(fā)性的反應(yīng)物,最終達(dá)到去除光刻膠層的目的。這個(gè)工藝,通常又被稱灰化工藝(PRAshing)。...
2022-11-16水平式等離子清洗機(jī):在平行板電極兩端施加13.56M的高頻功率,通入工作氣體,在該頻率的持續(xù)激勵(lì)下,產(chǎn)生等離子體,因平行電極板結(jié)構(gòu)與電容器類似,故這種在平行電極兩端產(chǎn)生的等離子體的等離子清洗設(shè)備被稱之為水平式等離子清洗機(jī)。...
2022-11-14采用Ar和H2的混合氣體對引線框架表面進(jìn)行等離子清洗,可以有效去除表面的雜質(zhì)沾污、氧化層等,從而提高銀原子和銅原子活性,大幅提高焊線與引線框架的結(jié)合強(qiáng)度,提高產(chǎn)品良率。...
2022-11-14所謂起輝,指的是氣體原子的核外電子受到激發(fā)后躍遷至高能級,并在弛豫的過程中生成光量子,產(chǎn)生輝光的現(xiàn)象。不同氣體通入等離子清洗機(jī)中所產(chǎn)生的輝光顏色不盡相同,例如氬氣的輝光為深紅色,氦氣的輝光為紫紅色而氮?dú)廨x光為橙紅色,這通常是由氣體分子本身能帶差異所決定的。...
2022-11-14等離子體清洗可以有效的清除單晶硅表面殘留的拋光雜質(zhì)。使用氧等離子體清洗預(yù)處理單晶硅表面有利于后續(xù)離子束拋光過程,可以在一定程度上改善了單晶硅的表面粗糙度和抑制表面光熱弱吸收水平的惡化。...
2022-11-11目前,等離子體清洗機(jī)已經(jīng)得到了廣泛應(yīng)用,其主要應(yīng)用行業(yè)領(lǐng)域及研究成果主要集中在以下方面:電子和微電子工業(yè),塑料制品行業(yè),半導(dǎo)體和玻璃行業(yè)。...
2022-11-10等離子清洗能夠去除鍍金陶瓷基板和元器件表面分子水平污染物,保證連接部分原子間緊密接觸,大幅提升芯片粘接強(qiáng)度和金絲鍵合強(qiáng)度,為產(chǎn)品可靠性奠定基礎(chǔ),是微組裝工序的質(zhì)量保證。...
2022-11-09