關(guān)于真空等離子清洗機(jī)電極的一些說明

文章出處：本站 | 網(wǎng)站編輯：深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2022-05-05

真空等離子清洗機(jī)一般是在在容性耦合等離子裝置下產(chǎn)生等離子體，電容耦合大多采用內(nèi)置的平板電極模式，放電時(shí)在兩極板上加射頻電源，在兩極板間氣體激發(fā)產(chǎn)生等離子體。電子密度與極板間距成正比例關(guān)系，平均電子溫度與極板間距成反比關(guān)系，其均勻性與極板間距成正比關(guān)系即隨著間距的增大均勻性變好。

電極板在等離子清洗中的作用

打開反應(yīng)倉，安裝有若干電極板(亦有樣品托盤的作用)。在反應(yīng)倉的后部安裝有兩個(gè)銅電極，其中左邊為負(fù)極，右邊為正極。每個(gè)電極條上有輸出端與倉體側(cè)壁的鋁支撐對應(yīng)。電極板能夠充當(dāng)反應(yīng)電極是建立在其上面的插頭與對應(yīng)銅電極相連接實(shí)現(xiàn)的，電極條選擇插入左邊或者右邊能夠決定該電極架為正極或者為負(fù)極。采用正、負(fù)電極相間隔放置的模式稱為直接等離子體模式，這種模式的配置下所有的正負(fù)離子都會(huì)在兩極流通而過且不會(huì)被彼此隔離，屬于較強(qiáng)轟擊性的方式。待清洗的物體可放在正極上也可放在負(fù)極上，通過實(shí)驗(yàn)也可以發(fā)現(xiàn)當(dāng)待清洗的物體放在正極上時(shí)為較為強(qiáng)烈的清洗(去膠)方式。

電極對等離子清洗效果影響

電極的設(shè)計(jì)對等離子清洗效果有著顯著的影響，主要包括電極的材料、布局和尺寸等因素。對于內(nèi)電極等離子清洗系統(tǒng)，由于電極暴露在等離子體中，某些材料的電極會(huì)被一些等離子體刻蝕或發(fā)生濺射現(xiàn)象，造成不必要的污染并導(dǎo)致電極尺寸的變動(dòng)，進(jìn)而影響等離子清洗系統(tǒng)的穩(wěn)定性。電極的布局對等離子清洗的速度和均勻性有較大影響，較小的電極間距能夠?qū)⒌入x子體限制在狹小的區(qū)域從而獲得較高密度的等離子體，實(shí)現(xiàn)較快速度的清洗。隨著間距的增加清洗速度逐漸下降但均勻性逐漸增強(qiáng)，電極的尺寸通常決定了等離子系統(tǒng)的整體容量，在電極平行分布的等離子清洗系統(tǒng)中，電極通常作為托盤使用，較大尺寸的電極能夠一次清洗更多的元器件，提高設(shè)備的運(yùn)行效率。

等離子清洗機(jī)電極的設(shè)計(jì)

由上述分析可知，電極本身應(yīng)盡可能不受等離子體的影響，且間距可調(diào)以適應(yīng)不同應(yīng)用對等離子體特性的需求，此外，應(yīng)該在滿足應(yīng)用條件的基礎(chǔ)上使托盤電極面積最大化。電極板主體由不銹鋼材料制成，通過電極接頭可選擇的與電源正極或負(fù)極連通，電極板由兩側(cè)的絕緣塊固定在真空腔體中，整個(gè)電極系統(tǒng)可跟據(jù)不同需求選擇電極板的極性與間距，以獲得最合適的等離子體。同時(shí)可以通過增加真空腔體的長寬高來增加托盤的數(shù)量和尺寸，提高清洗系統(tǒng)的效率。

等離子清洗機(jī)電極的類型一般有水平電極和垂直電極兩種分布形式，不同的分布形式，適用不同的材料進(jìn)行清洗。