超全的等離子清洗機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域介紹

文章出處：本站 | 網(wǎng)站編輯：深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2022-04-09

等離子體技術(shù)從20世紀(jì)60年代問世以來，已經(jīng)經(jīng)歷了從科研到實(shí)際應(yīng)用的重大變化，等離子清洗機(jī)的應(yīng)用的領(lǐng)域也在不斷擴(kuò)大,目前已在眾多高科技領(lǐng)域中，居于關(guān)鍵技術(shù)的地位。等離子清洗技術(shù)對產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)和人類文明影響最大，首推電子資訊工業(yè)，尤其是半導(dǎo)體業(yè)與光電工業(yè)，等離子清洗已應(yīng)用于各種電子元件的制造，可以確信，沒有等離子清洗技術(shù)，就沒有今日這么發(fā)達(dá)的電子、資訊和通訊產(chǎn)業(yè)。

（1）等離子清洗機(jī)在大規(guī)模集成電路和分立器件行業(yè)中的應(yīng)用

在大規(guī)模集成電路和分立器件行業(yè)中，等離子體清洗一般應(yīng)用于以下幾個關(guān)鍵步驟中
1、去膠，用氧的等離子體對硅片進(jìn)行處理，去除光刻膠；2、金屬化前器件襯底的等離子體清洗；3、混合電路粘片前的等離子體清洗；4、鍵合前的等離子體清洗；5、金屬化陶瓷管封帽前的等離子體清洗。例如，在一個COB基板上，在SMT元件粘接好后進(jìn)行IC芯片的引線鍵合。在表面安裝元件粘接后，會有大量的助焊劑污染物和水殘余，而為了在PCB基板上可靠地進(jìn)行引線鍵合，這些必須去除。

（2）等離子清洗機(jī)在塑料制品進(jìn)一步加工前的處理工序的應(yīng)用

由于等離子體清洗清污除油效果好，不僅不會對塑料基體的性能造成不良影響，而且在一-定程度上還能改善塑料的表面性能。因此在塑料制品鑄模完成后，進(jìn)--步加工之前常進(jìn)行--次等離子體清洗，以清除脫膜劑等油污并使塑料制品發(fā)生“活化”，性能得到改善。過去在汽車塑料配件如汽車保險杠和大燈反光碗的鑄模制造過程中都用到石蠟系、皂系或硅系的有機(jī)脫模劑，在鑄模完成之后過去通常使用氟利昂或三氯乙烷等ODS溶劑進(jìn)行清洗以去除脫模劑。在當(dāng)前禁用ODS清洗劑的形勢下，可采用等離子體清洗。

①汽車保險杠涂裝前的清洗。汽車保險杠是聚丙烯塑料制品，在鑄模成型之后進(jìn)行涂裝之前，可用等離子體進(jìn)行清洗，為了使保險杠的所有部位都能受到等離子體均勻的處理，產(chǎn)生等離子體時使用的高頻波不能是方向性很強(qiáng)的微波，而應(yīng)是方向性不太強(qiáng)的無線電波。

②汽車用的微型繼電器外殼的清洗。微型繼電器的外殼是用聚苯乙烯塑料制成的，在鑄塑完成后要在其外部印字,在其內(nèi)部用環(huán)氧樹脂密封，為了達(dá)到全面除油脫脂和使其表面活化的目的，過去也是用氟利昂處理，現(xiàn)可改用等離子體清洗，主要的成本消耗就是氯氣和必要的電力，大大降低了生產(chǎn)成本。

另外用聚碳酸酯制造的汽車前大燈反光鏡在完成鑄模之后在進(jìn)行真空鍍鋁膜之前，可用同樣的方法進(jìn)行等離子體清洗。也可以達(dá)到去除油污并使塑料表面活化的效果。

（3）等離子清洗機(jī)對玻璃表面污垢的清除的應(yīng)用

用等離子體清洗可以除去各種玻璃制品上的污垢,玻璃不僅包括普通玻璃，而且包括各種光學(xué)鏡頭用玻璃、電視熒光屏、彩管玻璃等特種玻璃，被清除的污垢通常是水和油污。

氧化銦錫(ITO)膜導(dǎo)電玻璃的等離子體清洗:氧化銦錫膜導(dǎo)電玻璃由于具有很高的可見光透射比和電導(dǎo)率，而被用作液晶顯示等平板顯示器的透明導(dǎo)電電極。要制造出高質(zhì)量的液晶顯示器要求形成的(ITO)膜層必須具有針孔少、表面無顆粒、膜層黏附力強(qiáng)的特點(diǎn)。而用常規(guī)的清洗方法清洗和烘干處理玻璃基片，很難徹底清除吸附在玻璃表面的污垢顆粒。而在運(yùn)輸、搬運(yùn)過程中由于其表面暴露在空氣中，難免吸附上環(huán)境中的氣體、水汽和灰塵，如果不加處理就會造成膜層與基片結(jié)合力不強(qiáng)，產(chǎn)生針孔和顆粒等問題。這些問題可以通過用等離子體在線清洗底基玻璃的方法加以解決。

實(shí)踐證明用等離子體清洗去除各種玻璃表面上殘留的水滴有很好的效果。這種情況下使用的是不活潑的氣體，如氯氣、氮?dú)獾?。其中氮?dú)獾南鄬γ芏缺鹊獨(dú)獯螅瘜W(xué)性質(zhì)也更不活潑。不活潑氣體用于等離子體清洗，它的物理作用比較突出，特別是對玻璃和金屬表面微量吸著的殘留水膜和有機(jī)污垢的去除很有效。在用等離子體清洗過程中存在這樣的規(guī)律，真空室的真空度越高，使用的高頻電壓越高，清洗效果越好，產(chǎn)生的廢物氣體越易被排除，也有利于防止清洗對象被二次污染。

（4）等離子清洗機(jī)的其他應(yīng)用應(yīng)用領(lǐng)域

①金屬材料表面的除油處理。

利用等離子體的特殊反應(yīng)性能使油脂分解并最終氣化的除油方法，在理論上可看成是種精密除油法。由于它可以將使用濕法清洗或超聲波清洗時很難觸及的狹縫和孔洞深處的油污清洗干凈。因此它比通常采用濕法清洗時的除油率更高。等離子體清洗除油可應(yīng)用于要求高度除油的觸點(diǎn)元件等電子部件的最終清洗、金屬密封墊黏合橡膠前的除油清洗、各種工具進(jìn)行離子噴鍍前的精密清洗、在不同種類的金屬黏合前的去油及表面活化處理等。在減震器制造過程中如果先用等離子體進(jìn)行除油處理再進(jìn)行噴水拋光，就可避免圓珠拋光材料被油污染。

電氣觸點(diǎn)特別是只有微弱電流通過的微型繼電器的電器觸點(diǎn)，它表面的潔凈度高低對它的性能有重要的影響。當(dāng)觸點(diǎn)表面殘留有油污時，經(jīng)過長期使用油脂就會發(fā)生炭化而增大接觸電阻，就會因?yàn)榻佑|不良而導(dǎo)致運(yùn)作失誤。-項采用不同清洗工藝的對比實(shí)驗(yàn)的結(jié)果表明:分別用氟利昂溶劑、等離子體、水基加等離子體不同方法對50個觸點(diǎn)元件進(jìn)行清洗并測量其接觸電阻，發(fā)現(xiàn)用等離子體清洗的效果與用氟利昂清洗的效果相當(dāng)或者更好一-些。在用等離子體清洗對氧化敏感的冷軋工具鋼、銅合金及銀合金等時，應(yīng)注意不要使用氧氣等活潑氣體的等離子體,并采取措施防止金屬因溫度升高和與外界空氣接觸而造成氧化。

②在隱形眼鏡清洗中的應(yīng)用。

目前使用的隱形眼鏡是用有機(jī)玻璃(聚甲基丙烯酸甲酪)制成的，它具有折射率高、硬度合適、生物親和性好等優(yōu)點(diǎn)，但它存在親水性差的缺點(diǎn)，長期佩戴會造成眼睛不適，另外它對氧氣的通透性較差，易造成佩戴時引起眼睛發(fā)炎等問題。研究發(fā)現(xiàn)使用等離子體清洗技術(shù)不僅可以去除隱形眼鏡表面的污垢，而且利用乙炔、氮?dú)夂退纬傻牡入x子體聚合物鍍在隱形眼鏡的表面形成--個薄膜，可以改善它的親水性、保濕性和透氣性。用等離子體清洗不僅可將隱形眼鏡上的各種污垢清除干凈，而且具有對材料性能影響小，可在較長一段時間里有效減少被污染可能的優(yōu)點(diǎn)。

等離子體清洗的過程不使用化學(xué)試劑，不會造成二次污染;等離子清洗機(jī)可重復(fù)性強(qiáng)，所需設(shè)備和運(yùn)行成本比較低，而且操作靈活簡單，可以實(shí)現(xiàn)對材料表面的整體或某些局部及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗，有些經(jīng)過等離子體清洗后的表面性能還可以得到改善，等離子清洗機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域?qū)絹碓綇V泛。